Silvio Fuchs
Preisträger in der Kategorie Dissertationen 2019
»Optische Kohärenztomographie mit extrem ultravioletter Strahlung«
Was hat dich zu deinem Forschungsfeld und Thema deiner Abschlussarbeit geführt?
Nach meiner Studienarbeit zur Kalibrierung eines EUV-Spektrometers am Synchrotron in Trieste, habe ich von der Idee der optischen Kohärenztomographie im extremen ultravioletten Spektralbereich von Prof. Paulus und Dr. Rödel gehört. Ich fand das Thema und die potentiellen Anwendungen der Technik in der Halbleiterindustrie so spannend, dass ich Herrn Paulus überzeugen konnte, diese von seinem bisherigen Forschungsfeld doch abweichende Entwicklung in meiner Diplomarbeit angehen zu dürfen. Durch die vielversprechenden Ergebnisse der Diplomarbeit war ich umso mehr motiviert, die Technik vom Synchrotron ins Laserlabor zu transferieren, weiterzuentwickeln und die „Kinderkrankheiten“ zu beseitigen, dass ich meine Dissertation diesen Zielen widmete.
Um welches Thema ging es in deiner Abschlussarbeit? Was hat dich daran fasziniert und begeistert?
Ich habe die optische Kohärenztomographie (OCT) im extrem ultravioletten Spektralbereich (EUV) entwickelt. Die OCT ist im sichtbaren bzw. infraroten Bereich schon seit drei Jahrzehnten bekannt und wird insbesondere beim Augenarzt zur Querschnitts-Abbildung der Netzhaut verwendet. Die axiale Auflösung (in die Tiefe) hängt dabei nicht von der Fokussierung ab. Stattdessen werden die Kohärenzeigenschaften breitbandiger Strahlung genutzt, um die axiale Richtung abzubilden. Die axiale Auflösung ist damit unabhängig vom abbe'schen Auflösungskriterium. Insbesondere im EUV-Bereich ist das ein entscheidender Vorteil. In meiner Arbeit konnte ich das im EUV-Bereich neue Verfahren, von uns XCT genannt, vom Synchrotron an eigens dafür entwickelte laser-basierte EUV-Strahlungsquellen transferieren. Außerdem konnte ich Mehrdeutigkeiten in der Bildrekonstruktion durch einen neuartigen eindimensionalen Phasenrekonstruktionsalgorithmus beseitigen. XCT erreicht eine axiale Auflösung von wenigen Nanometer und hat damit Anwendungen in der Untersuchung von Schichtsystemen und Halbleiterstrukturen.
Wie bist du auf den Applied Photonics Award aufmerksam geworden und was hat dich motiviert teilzunehmen?
Ein Freund und ehemaliger Studienkollege hat den Preis im letzten Jahr gewonnen. Deshalb bin ich auf die Idee gekommen, mich zu bewerben. Mein anwendungsrelevantes Thema passte auch gut zu den Auswahlkriterien.
Welche Bedeutung hat der Applied Photonics Award für dich? Würdest du die Teilnahme am Preis weiterempfehlen?
Ich habe mich riesig gefreut den Preis zu gewinnen. Jeder der promoviert hat oder noch dabei ist, weiß, welcher Einsatz und welches Durchhaltevermögen dafür nötig sind. Der Preis ist eine außerordentliche Wertschätzung meiner Arbeit und meiner Leistung und erfüllt mich mit Stolz. Ich kann jedem/jeder nur wärmstens empfehlen, sich für diesen Preis zu bewerben. Der Aufwand der Einreichung ist nicht groß. Die Anerkennung, die positiven Auswirkungen auf den Lebenslauf, und die wirklich tolle Abendveranstaltung mit Gästen aus der Photonikbranche und nicht zuletzt das Preisgeld aber schon.
Was sind deine Pläne für die Zukunft?
Auf der Grundlage meiner Arbeit sind zahlreiche neue weiterführende Projekte entstanden. Es hat sich ein Team aus sechs Personen gebildet, dessen Koordination mir anvertraut wurde. Ich werde also als Postdoc dem Themengebiet bis auf weiteres treu bleiben.